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技術(shù)文章

FIB雙束掃描電鏡的應(yīng)用優(yōu)勢是什么?

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  FIB雙束掃描電鏡是一種結(jié)合了聚焦離子束(FIB)和掃描電子顯微鏡(SEM)的高精度微納加工和分析設(shè)備,在試驗(yàn)時(shí)可通過轉(zhuǎn)動試樣臺使試樣表面與電子束或者離子束垂直,從而達(dá)到對電子束進(jìn)行實(shí)時(shí)觀測和對離子束進(jìn)行切割或者微加工等效果。
  應(yīng)用優(yōu)勢:
  1、高精度加工:FIB技術(shù)可以在不破壞樣品整體結(jié)構(gòu)的情況下,制備出高質(zhì)量的截面樣品,適用于多層互連結(jié)構(gòu)和微小缺陷的分析。
  2、實(shí)時(shí)成像監(jiān)控:SEM可以對樣品表面進(jìn)行實(shí)時(shí)成像,幫助分析師快速準(zhǔn)確地找到異常區(qū)域,定位問題區(qū)域。
  3、操作靈活性高:FIB雙束掃描電鏡不僅可以處理各種類型的材料(包括導(dǎo)體、絕緣體和半導(dǎo)體),還能適應(yīng)不同的工作環(huán)境。
  4、多功能性:除了基本的加工和成像功能外,還可以用于制造特定的測試結(jié)構(gòu)以便進(jìn)一步的電學(xué)性能測試。
  本公司提供的Scios 2 DualBeam FIB雙束掃描電鏡可快速輕松的定位制備各類材料的高分辨S/TEM樣品。系統(tǒng)配備Thermo Scientific Auto Slice&View軟件,可以高質(zhì)量、全自動地采集多種三維信息。無論是在STEM模式下以30kV來獲取結(jié)構(gòu)信息,還是在較低的能量下從樣品表面獲取無荷電信息,系統(tǒng)可在廣泛的工作條件下提供出色的納米級細(xì)節(jié)。

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